服務電話:400-6362-118
        砷化鎵(GaAs)晶圓切割實例
        發布時間:2022-10-31 點擊數:4411

        砷化鎵晶圓的材料特性

        砷化鎵(GaAs)是國際公認的繼“硅”之后最成熟的化合物半導體材料,具有高頻率、高電子遷移率、高輸出功率、低噪音以及線性度良好等優越特性,作為第二代半導體材料中價格昂貴的一種,被冠以“半導體貴族”之稱,是光電子和微電子工業最重要的支撐材料之一。


        砷化鎵晶圓的脆性高,與硅材料晶圓相比,在切割過程中更容易產生芯片崩裂現象,使芯片的晶體內部產生應力損傷,導致產品失效和使用性能降低。

        砷化鎵晶圓的應用

        用砷化鎵制成的半導體器件具有高頻、高溫、低溫性能好、噪聲小、抗輻射能力強等優點,可用于生產二極管、場效應晶體管(FET)和集成電路(IC)等,主要應用于高端軍事電子、光纖通信系統、寬帶衛星無線通信系統、測試儀器、汽車電子、激光、照明等領域。


        目前,基于砷化鎵襯底的led發光芯片在市場上有大量需求。

        選刀要點

        切割砷化鎵晶圓,通常采用輪轂型電鍍劃片刀,選刀不當極易造成晶片碎裂,導致成品率偏低。用極細粒度金剛石(4800#,5000#)規格的刀片,能有效減少晶片碎裂,但切割之前需要進行修刀。

        案例實錄

        ?

        測試目的

        1、對比測試

        2、驗證切割品質



        ?

        材料情況

        切割產品

        砷化鎵外延片

        產品尺寸

        4寸

        產品厚度

        100μm

        膠膜類型

        藍膜


        ?

        修刀參數

        修刀板型號

        5000#

        尺寸規格

        75x75x1mm

        修刀速度

        8/10/15 mm/s

        修刀刀數

        3種速度各5刀



        ?

        工藝參數

        切割工藝

        單刀切透

        設備型號

        DAD322

        主軸轉速

        38K rpm

        進刀速度

        CH2:25mm/s  CH1:35mm/s

        刀片高度

        CH2:0.08mm   CH1:0.07mm


        ?

        樣刀準備


        SSTYE 5000-R-90-AAA


        ?

        樣刀規格

        刀片型號

        5000-R-90 AAA

        金剛石粒度

        5000#

        結合劑硬度

        R(硬)

        集中度

        90

        切痕寬度

        0.015-0.020


        ?

        測試結果

        1、刀痕良好,<18μm,在控制范圍內。

        2、正面崩邊<3μm。

        3、背面崩邊<15μm,在控制范圍內。

        切割效果

        相關新聞:上一篇:碳化硅晶圓劃切方案集合
        下一篇:窄跡晶圓切割實例
        主站蜘蛛池模板: www.成人av.com| 欧美午夜一区二区福利视频 | 久久综合久综合久久鬼色| 调教羞耻超短裙任务| 成人h在线播放| 国产成人精品午夜二三区| 久久亚洲精品国产亚洲老地址| 精品无码人妻一区二区三区品| 在线观看免费av网站| 亚洲av无码专区在线| 超碰aⅴ人人做人人爽欧美| 国内精品久久久人妻中文字幕| 乱色熟女综合一区二区三区| 羞羞视频免费网站在线看| 大学生男男澡堂69gaysex| 亚洲一区二区三区丝袜| 肉伦迎合下种怀孕| 在线天堂中文字幕| 久热这里有精品| 精品国产乱码久久久久久浪潮| 国产香蕉一区二区精品视频| 久久综合桃花网| 污软件app下载| 国产成人无码午夜视频在线观看| 中国在线观看免费的www| 波多野结衣中文丝袜字幕| 国产69精品久久久久999小说| 99热精品国产三级在线观看| 最近更新中文字幕第一页| 国产一区二区三区精品视频| bt天堂新版中文在线地址| 欧亚专线欧洲s码在线| 四虎精品成人免费影视| 97精品依人久久久大香线蕉97| 日韩欧美久久一区二区| 公与秀婷厨房猛烈进出视频| 豆奶视频最新官网| 手机在线看片国产日韩生活片| 亚洲精品成人久久| 都市激情综合网| 国产私拍福利精品视频推出|